강의계획서
교과목코드 | JEF02224 | 교과목명 | 반도체공정 |
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강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 조성용 |
교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
이메일 | goras26@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6485 |
주차 | 주제 |
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1주차 | 반도체 소개 |
2주차 | 반도체 공정 서론 |
3주차 | 반도체 공정 서론 |
4주차 | 웨이퍼 제조 공정 |
5주차 | 산화 (oxidation) |
6주차 | 확산 (diffusion) |
7주차 | 이온 주입 (Ion implantation) |
8주차 | 중간고사 |
9주차 | 리소그래피 |
10주차 | 리소그래피 & 박막증착 개요 |
11주차 | 물리적 기상 증착법 |
12주차 | 물리적 기상 증착법 |
13주차 | 화학 기상 증착법 |
14주차 | 화학 기상 증착법 |
15주차 | 식각 및 금속화 공정, 기말고사 |
16주차 |