강의계획서
| 교과목코드 | JEF02224 | 교과목명 | 반도체공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 조성용 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | goras26@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6485 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 소개 |
| 2주차 | 반도체 공정 서론 |
| 3주차 | 반도체 공정 서론 |
| 4주차 | 웨이퍼 제조 공정 |
| 5주차 | 산화 (oxidation) |
| 6주차 | 확산 (diffusion) |
| 7주차 | 이온 주입 (Ion implantation) |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | 리소그래피 |
| 10주차 | 리소그래피 & 박막증착 개요 |
| 11주차 | 물리적 기상 증착법 |
| 12주차 | 물리적 기상 증착법 |
| 13주차 | 화학 기상 증착법 |
| 14주차 | 화학 기상 증착법 |
| 15주차 | 식각 및 금속화 공정, 기말고사 |
| 16주차 |