강의계획서
| 교과목코드 | JEF02342 | 교과목명 | 신소재실험3 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 조성용 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 실험 | 과정구분 | |
| 이메일 | goras26@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6485 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 안전교육 및 반도체 공정 개론 (LMS 온라인 강의) |
| 2주차 | 반도체 공정 개론 (LMS 온라인 강의) |
| 3주차 | 반도체 공정 개론 (LMS 온라인 강의) |
| 4주차 | 반도체 공정 개론 (LMS 온라인 강의) |
| 5주차 | 반도체 공정 개론 (LMS 온라인 강의) |
| 6주차 | 웨이퍼 다루기 실습 (LMS 온라인 강의) |
| 7주차 | 산화공정 실습 (LMS 온라인 강의) |
| 8주차 | 포토리소그래피 실습 (LMS 온라인 강의) |
| 9주차 | 박막증착 실습 (LMS 온라인 강의) |
| 10주차 | CV측정 (LMS 온라인 강의) |
| 11주차 | 실제 샘플 제작 및 측정 (LMS 온라인 강의) |
| 12주차 | 실제 샘플 제작 및 측정 |
| 13주차 | 실제 샘플 제작 및 측정 |
| 14주차 | 반도체 소자 측정 결과 발표 |
| 15주차 | 반도체 소자 측정 결과 발표 |
| 16주차 |