강의계획서
교과목코드 | JEF02342 | 교과목명 | 신소재실험3 |
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강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 윤태식 |
교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
과목구분 | 실험 | 과정구분 | |
이메일 | tsyoon@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6465 |
주차 | 주제 |
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1주차 | 안전교육 및 반도체 공정 개론 |
2주차 | 반도체 공정 개론 |
3주차 | 반도체 공정 개론 |
4주차 | 반도체 공정 개론 |
5주차 | 산화공정 |
6주차 | 산화공정 |
7주차 | 산화공정 |
8주차 | 패터닝공정 |
9주차 | 패터닝공정 |
10주차 | 박막증착공정 |
11주차 | 박막증착공정 |
12주차 | 반도체 capacitor 소자 측정 |
13주차 | 반도체 capacitor 소자 측정 |
14주차 | 반도체 capacitor 소자 측정 |
15주차 | 반도체 소자 측정 결과 발표 |
16주차 | 결과 리포트 작성 및 제출 |