강의계획서
| 교과목코드 | JEB01434 | 교과목명 | 반도체장비 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 전자공학과 | 교수 | 홍상진 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | samhong@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6374 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체개요 |
| 2주차 | DRAM 메모리제품 |
| 3주차 | NAND 메모리제품 |
| 4주차 | Diffusion_Furnace 공정장비 |
| 5주차 | Diffusion_Implant 공정장비 |
| 6주차 | Thin Film_CVD 공정장비 |
| 7주차 | Thin Film_PVD 공정장비 |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | Photo 공정장비 Part 1 |
| 10주차 | Photo 공정장비 Part 2 |
| 11주차 | Etch 공정장비 Part 1 |
| 12주차 | Etch 공정장비 Part 2 |
| 13주차 | Cleaning 공정장비 |
| 14주차 | CMP 공정장비 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 | Metrology & Inspection |